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    (氣路系統)什么是潔凈廠房氣體管路?

    發布時間:2016-12-16   閱讀:2523次
    潔凈廠房氣體管道的設計、施工、管理,完全不同于一般的工業氣體管道,其中任何一個環節稍有不慎,便可能破壞輸配氣體的質量,從而損失極其昂貴的產品,甚至造成嚴重的災難。本措施便對潔凈廠房設計、施工、管理過程中,應當遵循的基本要求——“氣體輸配管道的潔凈技術”,嚴肅認真、一絲不茍地重視各個細微環節,有效的建成保證工藝用氣要求的管道系統。

    潔凈廠房氣體管道設計、施工、管理,完全不同于一般的工業氣體管道,其中任何一個環節稍有不慎,便可能破壞輸配氣體的質量,從而損失極其昂貴的產品,甚至造成嚴重的災難。本措施便對潔凈廠房設計、施工、管理過程中,應當遵循的基本要求—— “氣體輸配管道的潔凈技術”,嚴肅認真、一絲不茍地重視各個細微環節,有效的建成保證工藝用氣要求的管道系統。
    1 輸配管道潔凈技術的一般概念
    1.1高純、潔凈氣體輸配管道,系指對輸送氣體的“三度”有一定的要求或控制。氣體純度—氣體中雜質氣氛的含量,通常用氣體純度的百分數來表示,如:99.9999% ,也用雜質氣氛含量的體積比ppm、ppb、ppt表示。干燥度——氣體中微量水分的含量,或稱之為含濕量,
    通常以露點表示,如常壓露點一70℃。潔凈度——氣體中含有污染物粒子的數量,粒徑為tun的粒子,多少~_/ms。對于壓縮空氣,通常也用不可避免的固體殘留物的多少mr/ms來表示,其中涵蓋了含油量。
    1.2 高純、潔凈氣體管道,通常使用在潔凈的生產環境當中,對應的潔凈環境等級,我國【潔凈廠房設計規范GB5(~3—2001】中,直接等效地使用國際標準【IS014644—1】
    1.3 高純、潔凈氣體管道,通常使用在潔凈的生產環境當中,對應的潔凈環境等級,我國【潔凈廠房設計規范GB5(~3—2001】中,直接等效地使用國際標準【IS014644—1】

    2準確無誤地安裝施工
    高純度、高潔凈度氣體管道的施工,不同于一般工業管道,稍有疏忽,便可能破壞輸送氣體的質量。因此,要理解安裝工作對保證氣體質量的重大意義,嚴格遵守設計、施工要求,工作中嚴肅認真、一絲不茍,高度重視各個細小環節,建成符合要求的管路系統。
    2.1 外觀的檢查工作
    (1)管路系統的管材、閥門及所有附件,必須嚴格按照設計要求選用,不得隨意更改或代換。
    (2)所用管材到貨后,應放在室內精心保管,不得露天堆放,更不得日曬和風吹雨淋。
    (3)管段端頭要有塑料或橡膠的密封罩蓋加以密封,不得脫落、破裂。
    (4)管子、管件、閥門等,使用前,詳實地進行下列外觀
    檢查:
    ●無裂紋、縮孔、折疊、重皮等缺陷。
    ●無銹蝕、銹斑等現象。
    ●管子應當平直、圓滑、無局部凹陷、無壓人物,無刮傷、
    碰傷、擠壓等缺陷。
    ●管材內表面的“粗糙度”是否與設計要求相符,螺紋處
    密封、保護是否良好。
    (6)氧氣管路的閥門、附件等,應當嚴格禁油,并在安裝
    前按有關要求進行嚴格脫脂。
    2.2 管路系統的安裝
    (1)配管支架的安裝間距不宜過大,不得采用吊架、彈簧支架、柔性支撐等固定方式,以防止啟動時的氣流沖擊和引起管道的震動,造成脫落粒子污染氣體。管道支架,穿樓板等方式,參照后面圖中的方式進行組配.(2)管路的轉彎處,應采取平整、圓滑的彎管過渡,彎管的半徑應以5倍管道直徑為宜(成品鑄造彎管或成品機加彎管除外)。不得采用皺波彎頭和焊接彎頭,現場彎管應當采用冷彎,不得采用熱彎。(3)管道必要的螺紋連接處,螺紋表面的粗糙度不得大于12.5,um,同時螺紋的表面不得有機械損傷或斷面不完整狀況。(4)卡套連接時,注意對其相應管端頭密封面的螺紋、密封面、端El、切El的保護,不得出現碰、砸、壓、擠、刮、劃等缺陷,安裝時不得用鐵錘敲打,保證管道的平整、圓滑。(5)管路的連接,原則上采用焊接,但防止直接對焊,焊接應采用管套或成品接頭。管套應選用與管材同等
    材料和內面光滑度等級。管路各部位的幾何尺寸避免過大,尤其套管與管材的結合部,其間隙一定不能過大,與管材的重疊部分也不宜過長,較為合適的尺寸見。重疊部分的長度以5—8 硼為宜,同時,套管內徑加工時,應使管材管徑過盈,安裝對接時,用木錘輕敲套管,
    使其緊套在前段管頭上,此刻便可施焊。然后用同樣辦法將下段管頭插入套管內。這樣,焊接時不僅焊渣不會落入管內,克服了由于重疊部分太長,間隙過大而造成的氣體死角— —盲區,避免了由于水分、粒狀物或雜質氣氛進入此狹縫內,在再次投入運行時便會在純凈氣流的裹脅下,一點一點地向潔凈氣流內排放,從而污染潔凈氣體。

    在一些微電子產品的生產工藝中,由于銅的化合物容易產生器件電阻,所以用于處理砷化鎵等工藝系統是不妥當的,對這類系統只能采用不銹鋼管材。


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