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    半導體工廠生產用特氣管道

    發布時間:2016-12-16   閱讀:6027次
    奧飛克管道工程有限公司提供全方位的特氣供氣系統,滿足不同高純度/特氣供氣系統的用氣要求和安全 。特氣系統主要組成:特氣控制面板,特氣設備,分配箱,純化設備,廢氣處理設備,檢測器,監視設備等。半導體制造業所使用的特種氣體一般按其使用時的特性,可分為五大類

    (1)易燃性氣體

    把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒,當環境溫度達到一定時,PH3與B2 H6等氣體也 會產生自燃?扇家兹細怏w都有一定的著火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高,如B 2H6的爆炸上限為98%,爆炸 下限為0.9%。屬于易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 等等。

    (2)毒性氣體
    半導體制造行業中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性最大。
    這些氣體在工作 環境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控制使用這些氣體。 NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。
    (3)腐蝕性氣體
    這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環境下就顯示出很強的腐蝕 性,如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3,WF6等。

    (4)惰性氣體
    隋性氣體本身一般不會直接對人體產生傷害,在氣體傳輸過程中,相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性,在密閉空間若發生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

    (5)氧化性氣體
    這類氣體有較強的氧化性,一般同時具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。

    奧飛克管道工程有限公司是一家專業從事于氣體領域服務于一體的高新技術企業,為客戶提供高純度特氣供應系統、各種實驗室/研究所供氣 系統、氣體管道工程、尾氣處理整體設計、安裝調試一體式的工程服務。從選型咨詢、產品供應、投運維護、技術支持、用戶培訓、客戶服務等,提供了整套優質成 熟的氣體解決方案。深受廣大客戶的肯定及認同。

    主要服務于半導體、太陽能、生物制藥、實驗室、石油化工、醫療、電子微電子、LED等高新科技企業
    1:特種氣體輸送系統,分配箱(VMB/VMP),尾氣處理設備,報警監控系統等的安裝,測試
    2:實驗室氣體管道工程,從咨詢、設計、選型、產品供應、投運維護、技術支持、用戶培訓、客戶服務提供整套的系統安裝
    3:管道配件:各種供氣系統所需的氣體減壓器、半導體減壓器、不銹鋼閥門、卡套接頭、各種級別的不銹鋼管、精密過濾器、各類壓力表、分析儀器
    4:各種自動軌道焊接服務:潔凈部件、連接管件、二次配管等

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